| 扫描电子显微镜和用于覆盖监测的方法 |
| US17369746 2021-7-7 发明申请 |
| 2021-10-28 |
| 一种扫描电子显微镜和一种用于评估样品的方法， 该方法可以包括(a)用主电子束照射样品， (b)将从所述样品发射并在第一闪烁体上方传播的二次电子导向所述第一闪烁体的上部，其中所述第一闪烁体和第二闪烁体位于所述样品和所述柱的柱电极之间； 其中第一闪烁体位于第二闪烁体的上方； (c)由第一闪烁体检测二次电子； (d)将从样品发射的反向散射电子导向第二闪烁体的下部； 以及(e)通过第二闪烁体检测反向散射的电子。 |
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