| 扫描透射电子显微镜及光学系统的调整方法 |
| US17236074 2021-4-21 发明申请 |
| 2021-10-28 |
| 一种扫描透射电子显微镜，其用电子探针扫描样品以获得图像。 该扫描透射电子显微镜包括：光学系统，其包括聚光镜和物镜； 设置在物镜的后焦平面或与物镜的后焦平面共轭的平面上的成像装置，该成像装置能够拍摄X射线照片； 以及控制单元，其执行光学系统的调节。 所述控制单元被配置或编程为：获取可归因于所述样本和所述电子探针之间的相对位置关系的变化的电子线路图中的变化的图像； 以及基于所述支气管图中的变化的图像来确定所述支气管图的中心。 |
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