| 电子显微镜 |
| JP2021077090 2021-4-30 发明授权 |
| 2021-10-27 |
| 为了在使用永磁透镜的同时适当地调整焦点位置和放大率，解决方案：当用来自光源单元5的光照射样品S时，样品S发射光电子。 光电子被由电压施加单元30施加的加速电压加速，通过电子透镜系统10，通过MCP41，并使荧光屏42发出荧光。 由此形成样品S的放大图像。 电子透镜系统10包括对应于成像系统的透镜的电子透镜单元11和12，以及对应于物镜的电子透镜单元13。 这些透镜单元可以通过操作齿条和小齿轮单元20而上下移动。 通过改变电子透镜单元11和12之间的距离来调节图像放大率。 通过电压施加单元30调节加速电压来调节对焦选图：图1 |
微信公众号