| 音圈致动空心轴显微镜对焦装置 |
| CN202110791331.1 2021-7-13 发明申请 |
| 2021-10-26 |
| 本发明提供了一种音圈致动空心轴显微镜对焦装置，包括控制系统、成像系统、位置调节机构、位置反馈组件、装置基板、物镜以及转接器；被测物体放置在所述物镜下方；所述位置调节机构能够沿着靠近所述被测物体或远离所述被测物体的方向运动；所述物镜通过所述转接器与所述位置调节机构相连，且所述物镜能够随着所述位置调节机构的运动而运动；所述位置调节机构以及所述位置反馈组件均与所述控制系统电连接。本发明采用音圈电机驱动物镜对焦，结构简单，安装方便，稳定性好，并且控制精度高，避免了导轨、悬臂横梁引入的物镜光路垂直度装调困难，控制困难、动态响应不高等问题。 |
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