| 使用分段反射镜和掩模的反射傅立叶PTYCHOGRAPHY显微镜 |
| KR1020200071254 2020-6-12 发明授权 |
| 2021-10-22 |
| FPM：如权利要求LED所述的照明装置，其特征在于，提供多个LED光源，并且多个1个光源以不同的角度依次照射到待测物体上，以依次照射彼此LED的光束1，从而形成第11个面板。 LED： 如权利要求1所述的照明装置， 其中，所述LED光源为多个，所述第一发光体照射后以不同的角度2依次向被测物体照射多个2光束，所述第二面板包括位于所述中心孔22LED内的物镜。 如权利要求2所述的片镜，其特征在于，由所述第一照明器产生的每个LED2光束被反射以入射到所述测量对象。 用于去除从上述照明器发射的第LED光束的噪声分量的装置，其中遮光膜安装在第一照明器上。 LED透镜和12个光束被配置为收集从用光束照射的测量对象发射的光束。 光检测器，其接收来自透镜的光，并且获取多个(1)光束和(2)光束中的每一个的图像。 反射式FPM使用雕塑和边框膜。 本发明涉及。 |
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