| 用于侦测缺陷之方法、扫描电子显微镜及储存一程式之非暂时性电脑可读媒体 |
| TW107110186 2018-3-26 发明授权 |
| 2021-10-21 |
| 在扫描电子显微镜或其他再检测工具中使用关注区域可提供经改良敏感度及通量。在一扫描电子显微镜之一控制器处自例如一检测器工具接收一关注区域。该检测器工具可系一宽频电浆工具。将该关注区域应用于一扫描电子显微镜影像之一视域以识别至少一个感兴趣区域。使用该扫描电子显微镜来仅在该感兴趣区域内侦测缺陷。该等关注区域可系基于设计之关注区域或某一其他类型之关注区域。在工具中使用关注区域可提供经改良敏感度及通量。 |
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