| 具有最小折射表面的多浸没显微镜物镜 |
| EP20169190 2020-4-10 发明申请 |
| 2021-10-13 |
| 本发明涉及一种用于检查浸入介质(M)中的样品(S)的浸入式显微镜物镜(10)， 包括： 至少一个凹面镜(3)， 至少一个光学元件(1)，其包括面对所述至少一个凹面镜(3)的非球面表面(2)， 以及设置在所述至少一个凹面镜(3)和所述非球面(2)之间的内部空间(4)， 所述内部空间(4)构造成填充有浸入介质(M)，使得浸入介质(M)接触至少一个凹面镜(3)和非球面(2)。 根据本发明，所述非球面界面(2)的形状使得当所述浸没介质(M)的折射率n增加或减少至少0.025时，所述浸没显微镜物镜(10)的工作距离(7)变化小于1%。 |
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