用于使样品成像的斜面显微镜
 
EP20169056  2020-4-9  发明申请

2021-10-13
 
  一种用于对样品(104)成像的斜面显微镜(100, 400, 500, 600, 700),包括:单个物镜(102),其被配置为用光片照射样品(104)的平面(106, 606),并从被照射的平面(106, 606)收集检测光(110, 610); 分光系统(112, 512, 712),被配置为将收集的检测光(110, 610)分成分别沿第一和第二光路(OP1,OP2)传播的第一和第二两个检测光束(114, 116); 第一中间成像系统(126),其被配置为生成照明平面(106)的第一中间图像; 606)来自第一中间图像空间(130)中的第一检测光束(114), 所述第一中间成像系统(126)包括第一物镜(132)和第一反射元件(134),所述第一反射元件(134)位于所述第一中间图像空间(130)中并且被配置为将所述第一检测光束(114)反射回所述第一物镜中; 第二中间成像系统(128),其被配置为产生照明平面(106)的第二中间图像; 606)来自第二中间图像空间(140)中的第二检测光束(116), 所述第二中间成像系统(128)包括第二物镜(142)和第二反射元件(144),所述第二反射元件(144)位于所述第二中间图像空间(140)中并且被配置为将所述第二检测光束(116)反射回所述第二物镜中; 以及检测系统(146, 546, 746),被配置为检测分别反射回第一和第二物镜(132, 142)中的第一和第二检测光束(114, 116),用于对样品(104)成像。
 
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