| 带电子能量损失光谱探测器的透射带电粒子显微镜 |
| JP2021052954 2021-3-26 发明申请 |
| 2021-10-11 |
| “问题”提供改进的透射带电粒子显微镜。 “解决方案”本发明涉及透射型带电粒子显微镜，其包括用于发射带电粒子束的带电粒子束源，用于保持样品的样品架，用于将从带电粒子束源发射的带电粒子束引导到样品上的照明器，以及用于控制透射型带电粒子显微镜的操作的控制单元。 如本文中所定义，透射带电粒子显微镜布置成以至少两种模式操作，所述至少两种模式基本上提供第一倍率，同时保持衍射图案的焦点基本上一致。 至少两种模式包括具有投影系统的最终投影仪镜头的第一设置的第一模式和具有最终投影仪镜头的第二设置的第二模式。 图8b是选择图。 |
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