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电子束系统及方法以及扫描电子显微镜

TW107100861 2018-1-10 发明授权

2021-10-11

可借由减少一多射束检验系统之照明路径中之库仑效应来改良一多电子束系统之效能。具有多个孔之一射束限制孔径可位于一电子束源与一多透镜阵列之间诸如一无场区域中。该射束限制孔径经组态以减少该电子束源与该多透镜阵列之间的库仑交互作用。具有该射束限制孔径之一电子束系统可用于一扫描电子显微镜中。