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提取设备及系统电子束系统以及扫描电子显微镜

TW107101805 2018-1-18 发明授权

2021-10-11

提取器及提取器系统最小化与初级电子束相互作用且使该初级电子束降级之次级电子之产生。此可改良诸如一扫描电子显微镜之一电子束系统之效能。该提取器可包含随著距该电子束之源之距离之增加而变宽之一截头圆锥形孔隙。至该截头圆锥形孔隙中之入口亦可包含一弯曲边缘。