| 透射电镜阴极发光装置 |
| US17223146 2021-4-6 发明申请 |
| 2021-10-7 |
| 描述了用于收集从暴露于电子束的样品发射的上游和下游透射电子显微镜(TEM)阴极发光(CL)的装置。 第一光纤光缆将从第一TEM样品表面发射的第一CL光传送到光谱仪中。 第二光纤光缆将从第二TEM样品表面发射的第二CL光传送到光谱仪中。 第一和第二光纤光缆被定位成使得光谱仪产生用于第一光纤光缆的第一光谱和用于第二光纤光缆的单独光谱。 所描述的实施例允许以允许用成像光谱仪分别和同时分析上游和下游TEMCL信号的方式收集TEMCL数据。 |
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