| 确定地下地形的特征尺寸的方法，扫描探针显微镜系统和计算机程序。 |
| WONL21050216 2021-4-1 发明申请 |
| 2021-10-7 |
| 本发明涉及一种用于确定样品的地下地形的特征尺寸的方法，所述特征具有空间周期性。 使用扫描探针显微镜术获得表面下形貌。 所述方法包括：获得至少N个位置处的声输出信号的测量值；以及生成位置相关的地下地形信号。 该方法还包括通过相对于每个另外的位置执行地下地形信号的互相关来提供自相关矩阵，以产生尺寸为n×n的自相关矩阵。 此后，该方法包括执行特征值分解以获得矩阵的特征值，以及选择具有最大值的特征值子集。 由此构造频率估计函数，并从中获得指示空间周期性的至少一个输出值。 该文件还描述了扫描探针显微镜系统和计算机程序产品。 |
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