| 扫描探针显微镜系统 |
| CN202110941769.3 2021-8-17 发明申请 |
| 2021-10-1 |
| 本申请涉及一种扫描探针显微镜系统包括多个探针架、主机探头、主机底座以及测控装置。每一个探针架被配置为安装一个传感探针。主机探头包括前置电路和定位导槽。定位导槽被配置为可拆卸的安装多个探针架。探针架与前置电路电气连接。主机底座被配置为支撑主机探头，并与传感探针信号连接。测控装置与主机底座信号连接。使用时，选择其中的一个探针架安装在主机探头的定位导槽中，测控装置通过主机底座与相应的传感探针实现信号交互，以使得扫描探针显微镜系统可以实现任意测量成像功能即选即用，实现了多种传感探针的兼容使用。 |
微信公众号