| 一种超低温高真空原子力显微镜系统 |
| CN202110955834.8 2021-8-19 发明申请 |
| 2021-10-1 |
| 本发明涉及一种超低温高真空原子力显微镜系统，该系统包括一体式光纤光光杠杆系统、Z轴升降平台以及内置X轴移动台、Y轴移动台、15微米扫描器的支座。所述支座与所述Z轴升降平台之间设有真空低温直线运动马达；所述Z轴升降平台的一侧设有光杠杆支撑架，另一侧设有Z轴真空低温马达移动限位器，底部与所述支座相连；所述光杠杆支撑架与所述一体式光纤光光杠杆系统相连；所述X轴移动台上设有所述Y轴移动台，该Y轴移动台上设有所述15微米扫描器。本发明具有低噪音、大样品台、多尺度场连用的特点。 |
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