| 扫描电子显微镜装置和电子束检测设备 |
| CN202110746459.6 2021-7-1 发明申请 |
| 2021-10-1 |
| 提供扫描电子显微镜装置和电子束检测设备，扫描电子显微镜装置被配置成向待测样品的表面投射电子束，包括：电子束源；偏转机构；和物镜组件。偏转机构包括：第一偏转器，位于电子束源的下游；和第二偏转器，位于第一偏转器的下游。物镜组件包括：励磁线圈；和磁轭，由导磁材料形成为朝待测样品敞开的壳体，包括限定内部腔室的中空主体、和从中空主体成角度地向内朝光轴延伸的至少一个倾斜部分，所述至少一个倾斜部分的末端形成为极靴，所述励磁线圈容纳于所述内部腔室中。所述偏转机构还包括位于第二偏转器与物镜组件之间、且布置于由所述极靴限定的开口内的第三偏转器，第一、第二和第三偏转器中每个是静电偏转器。 |
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