扫描探针显微镜及扫描探针显微镜中的光轴调整方法
 
US17133895  2020-12-24  发明申请

2021-9-30
 
  防止激光束的漫反射不利地影响扫描探针显微镜中激光束的光轴调整的处理。 在基于由成像单元捕获的图像识别的激光束的光斑的位置在激光束移动时预测的方向上移动的情况下, 扫描探针显微镜的控制装置将所识别的斑点的位置设置为初始位置。 控制装置基于由成像单元捕获的图像识别漫反射激光束的位置,并且通过避开漫反射激光束的位置将光斑从初始位置移动到悬臂的顶端。
 
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