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产业专利数据

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2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
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扫描电子显微镜

WOJP21011055 2021-3-18 发明申请

2021-9-30

本发明涉及一种扫描电子显微镜，用于通过用电子束扫描工件来产生诸如晶片，掩模，面板或衬底的工件的图像。该扫描电子显微镜包括：偏转器(17，18)，用于通过偏转电子束，用电子束扫描工件(W)上的目标区域(T)；以及偏转控制单元(22)，用于向偏转器(17，18)施加用于使电子束扫描目标区域(T)的扫描电压和用于使电子束从光轴中心(O)移动到目标区域(T)的偏移电压。