| 扫描电子显微镜用电子枪室，包含该电子枪室的电子枪及扫描电子显微镜 |
| WOJP21011177 2021-3-18 发明申请 |
| 2021-9-30 |
| 本发明的目的在于提供一种扫描电子显微镜用场发射电子枪室，其结构简单，可小型化， 如迄今为止还没有得到的，并且其中可以使用场发射电子源作为电子源，并且将来自所述电子源的电子束的最大加速电压配置为15kV。 因此，本发明提供的场发射电子枪室的制造成本是优异的。 本发明提供一种用于扫描电子显微镜的电子枪室，其包括：(a)电子源室，其包括场发射电子源可拆卸地连接的位置； (b)与电子源室相邻设置的中间室，电子束沿从安装在上述位置的电子源发射的电子束的方向通过该中间室； (c)设置于中间室的锁气阀安装部； (d)用于预真空排气泵的排气孔，其设置在沿电子源室和中间室连续的每个表面上； 以及(e)设置在电子源室和中间室上的打开和关闭装置，该打开和关闭装置直接打开和关闭用于初步真空排气泵的排气孔。 |
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