| 一种测量扫面电子显微镜电子束斑尺寸的方法 |
| CN202110705873.2 2021-6-24 发明申请 |
| 2021-9-28 |
| 本发明公开了一种测量扫面电子显微镜电子束斑尺寸的方法，所述测量工具包括：电子束输出组件、束斑测量组件和支架，所述竖板测量组件安装在支架表面并与其滑动连接，所述电子束输出组件安装在支架的顶部。本发明通过同步驱动束斑测量组件和电子束输出组件，以实现束斑测量组件与电子束做同步运动，可以实时对扫描电子显微镜的电子束斑大小进行测量，简单方便，在拍摄图片时采用法拉第杯为图片背景，极大的提高了拍摄的对比度；采用微分曲线计算束斑的尺寸更加准确，可靠，从而具有操作简单，精度高，实用性强的效果。 |
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