| 一种量子钻石原子力显微镜用三维微米移动台 |
| CN202120449099.9 2021-3-2 实用新型 |
| 2021-9-28 |
| 本实用新型公开了一种量子钻石原子力显微镜用三维微米移动台，包括中空安装平台，中空安装平台包括呈上下位置固定的中空顶板和中空底板，中空顶板与中空底板之间设置有二维调节装置，二维调节装置底部连接有安装AFM探针的探针支座，AFM探针置于中空安装平台的中空区域下部，二维调节装置通过探针支座带动AFM探针在水平方向上移动实现水平方向上位置调节，中空顶板上安装有实现探针支座竖直升降的升降调节装置；本实用新型的量子钻石原子力显微镜用三维微米移动台，通过中空结构的设置，实现了物镜与探针结构部件的直接相对安装，移动台整体结构简单且体积小，可以实现三维微动调节，调节精度高。 |
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