| 扫描探针显微镜及其设置方法 |
| US17203117 2021-3-16 发明申请 |
| 2021-9-23 |
| 本发明提供一种有助于缩短测定时间的扫描探针显微镜及其设定方法。 该扫描探针显微镜包括：移动驱动单元，其能够使悬臂和样品在至少Z方向上相对移动； 以及控制装置，其通过控制移动驱动单元来操作使悬臂和样品以预定速度彼此接近的接近操作， 以及当确定探针和样品彼此接触时，停止接近操作， 其中预定速度被设定为使得当执行用于停止接近操作的控制时，由于探针和样品之间的接触而施加到样品上的力不超过预定的第一力。 |
微信公众号