| 一种用于显微镜的实时自动对焦系统 |
| WOCN20079547 2020-3-16 发明申请 |
| 2021-9-23 |
| 一种用于显微镜的实时自动对焦系统，包括红外光源模块、偏移透镜光路模块、检测模块和对焦控制模块。红外光源模块用于发射平行激光光束；偏移透镜光路模块将红外光源模块出射的平行激光光束扩束为发散光，并通过显微镜物镜(10)照射样品界面(11)，以使照射在样品界面(11)处的激光衍射光斑形成彗星形；检测模块将样品界面(11)反射形成的彗星形衍射光斑调制为线型光斑并通过对线型光斑分析获得当前视场下显微系统的离焦量相关信息；对焦控制模块基于获得的离焦量相关信息迭代控制显微镜物镜(10)的轴向运动，直至离焦量满足设定目标。 |
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