| 一种高收集效率的扫描电镜电子探测器 |
| CN202110823237.X 2021-7-21 发明申请 |
| 2021-9-21 |
| 本发明提供了一种高收集效率的扫描电镜电子探测器，其提高二次电子或者背散射电子的收集效率、能够进一步改善图像的信噪比和分辨力。其包括：栅网；法拉第杯；闪烁体；光导柱；光电倍增管；高压电源；电流放大电路板；不锈钢外壳；法拉第杯的电子信号输入端设置有外凸的筛网，法拉第杯的电子信号输出端朝向闪烁体布置，闪烁体的光子信号输出端朝向光导柱的输入端布置，导管柱的输出端连接至光电倍增管的信号输入端，光电倍增管的信号输出端连接电流放大电路板的信号输入端，光电倍增管连接有高压电源；不锈钢外壳内包覆有高压电源、光电倍增管、光导柱、闪烁体，不休钢外壳的前部输入端固装有法拉第杯。 |
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