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4
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用于扫描电子显微镜影像之宽频电浆辅助缺陷侦测流程
TW109136397 2020-10-21 发明申请
2021-9-16
将一经呈现影像与一扫描电子显微镜()影像对准以产生一经对准经呈现影像。将一参考影像与该影像对准以产生一经对准参考影像。亦产生一临限概率图。该影像及经对准参考影像之动态补偿可产生一经校正影像及经校正参考影像。可产生一临限缺陷图且使用一基于宽频电浆之性质过滤该临限概率图之缺陷及该临限缺陷图之信杂比缺陷以产生所关注缺陷丛集。()-------
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