| 全形态测量激光干涉仪 |
| CN202020080097.2 2020-1-15 实用新型 |
| 2020-9-8 |
| 本实用新型公开了一种全形态测量激光干涉仪，包括壳体，壳体整体呈匚型，壳体上从上至下依次设有反射标准镜组件、测试平台和激光准直镜组件；测试平台用于固定被测元件，其与壳体通过升降装置连接，激光准直镜组件用于向测试平台上的被测元件及反射标准镜组件发射直线激光，反射标准镜组件用于反射直线激光至激光准直镜组件。本实用新型测试平台通过升降装置与壳体连接，使得测试平台可在激光准直镜组件和反射标准镜组件之间进行移动，以改变其相对位置。如此，工作人员仅在测试的时候调节测试平台的位置即可改变测试过程中的透射率和反射率，使得摄像机上得到的条纹更加清晰，提高测试效率同时提高了测试准确度。 |
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