| 扫描探针显微镜光电探测器 |
| US17193267 2021-3-5 发明申请 |
| 2021-9-9 |
| 提出了一种用于表面探测系统中的检测器装置。 该检测器装置包括整体半导体结构，该整体半导体结构被配置为限定悬臂和顶端探针组件， 包括至少一个形成在悬臂上的尖端， 其中所述至少一个尖端的顶点部分被配置为带孔光检测器，该带孔光检测器包括形成有亚波长尺寸的孔并限定至少一个耗尽区和电路的层状结构， 所述亚波长孔径允许收集在表面区域产生的消逝波，并使收集的消逝波与至少一个耗尽区域相互作用，从而使收集的消逝波直接转换成电信号，由所述顶端部分内的电路读取， 因此，所述整体半导体结构能够同时监测由尖端扫描的表面的形貌和光学特性。 |
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