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探针及扫描探针显微镜用探针的制造方法

US17008803 2020-9-1 发明申请

2021-9-9

根据本实施例的探针的制造方法用于制造用于扫描探针显微镜的探针。在设置在基底上的探针的表面上形成绝缘膜。将金属离子注入到绝缘膜中。向绝缘膜施加电场，以将绝缘膜中的金属离子集中在探针的尖端处，并在绝缘膜中形成金属丝。