| 灯丝座结构、热场发射电子源及电子显微镜 |
| CN202120340507.7 2021-2-5 实用新型 |
| 2021-9-7 |
| 本实用新型提供了一种灯丝座结构、热场发射电子源及电子显微镜，涉及电子显微镜技术领域，解决了热场发射电子源发射区域真空度难以继续提高，影响发射针尖放电的技术问题；该灯丝座结构包括固定有发射针尖的座本体，座本体上构造有排气通道，排气通道贯穿座本体的相对两端，且与发射针尖的发射区域相导通以允许发射区域内气体在负压作用下经排气通道排出；本实用新型的灯丝座结构通过在座本体上设置排气通道，该排气通道与发射针尖处于的发射区域导通，在负压作用下，发射区域中的气体能够在负压作用下经排气通道排出，能进一步提高发射区域的真空度，减少发射电子被气体分子阻挡的机会、增长电子源使用寿命、降低尖端放电的可能。 |
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