| 芯片式原位透射电镜的样品转移方法 |
| CN202010137518.5 2020-3-3 发明申请 |
| 2021-9-3 |
| 公开了一种芯片式原位透射电镜的样品转移方法，包括：利用溶剂将颗粒样品分散为悬浮液，在电镜微栅上滴若干滴悬浮液并烘干，得到微栅样品；将微栅样品放入聚焦离子束仪器FIB中，挑选样品并转移至FIB专用载网上，并使用离子束将样品的一部分减薄，获得载网样品；将载网样品放入透射电子显微镜TEM中，观察载网样品中被减薄的部分，测量载网样品晶带轴相对于实际观察方向的偏转角度α和β；从TEM中取出载网样品，调整载网相对于透射电镜样品杆的面内旋转角度，使载网样品的晶带轴跟着旋转，直到其相对于TEM光轴只剩下偏转角度α；将载网样品转移到FIB中，并利用样品台倾转补偿偏转角度α，将载网样品转移至原位芯片指定位置。 |
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