| 使用抛物面镜的反射傅立叶PTYCHOGRAPHY显微镜 |
| KR1020200020510 2020-2-19 发明申请 |
| 2021-8-27 |
| FPM：如权利要求LED所述的照明装置，其特征在于，提供多个LED光源，并且多个1个光源以不同的角度依次照射到待测物体上，以依次照射彼此LED的光束1，从而形成第11个面板。 LED：根据权利要求1所述的照明装置，其中，设置有多个LED光源，并且在由所述(2)照明装置照射之后，以不同的角度依次向所述待测物体照射多个2LED-TH2-光束。 如权利要求2所述的抛物面反射镜，其特征在于，由所述第一照明器反射的所述至少2个光束中的每一个由所述待测物体反射。 LEDth，1或2的透镜被配置为收集从被照射的测量对象发射的光束。 如权利要求LED所述的光学检测器，其特征在于，所述光学检测器被配置为接收来自所述透镜的光，并获取所述多个三个光束中的每一个的图像。 本发明涉及一种使用抛物面反射镜的反射式FPM。 |
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