| 一种自动对焦电学显微镜 |
| CN202022750871.9 2020-11-25 实用新型 |
| 2021-8-24 |
| 本实用新型公开了一种自动对焦电学显微镜，包括底座、竖直固定在底座上的支架、固定于底座上的平面运动平台、镜臂、镜筒、目镜、分光镜、红外测距仪和工业相机；所述支架竖直方向设有滑槽；所述镜臂与滑槽啮合滑动固定在支架上，所述镜臂上设有Z轴电机用于驱动镜臂沿支架上下滑动；所述镜筒竖直固定于镜臂，位于平面运动平台上方；所述镜筒的顶端固定有红外测距仪，底端固定有物镜，所述红外测距仪与物镜同轴心；所述目镜和工业相机固定于镜臂，所述镜筒、目镜和工业相机之间设有光道连接；所述分光镜包括第一分光镜和第二分光镜，所述第一分光镜位于光道和镜筒的连接处，所述第二分光镜位于目镜和工业相机的延长线交接处。 |
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