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用于确定将在带电粒子显微镜中使用的样品的性质的装置和方法
US17168990 2021-2-5 发明申请
2021-8-19
本发明涉及一种用于确定将在带电粒子显微镜中使用的样品的性质的装置和方法。 样品包括嵌入基质层中的样品。 该装置包括光源和检测器,所述光源被设置用于将光束导向所述样品,所述检测器被设置用于检测响应于所述光束入射到所述样品上而从所述样品发射的光。 最后,该设备包括控制器,该控制器连接到所述检测器,并且被设置用于基于由所述检测器接收的信号来确定所述矩阵层的特性。
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