| 一种扫描电镜下样品样貌特征定位装置 |
| CN202022635127.4 2020-11-16 实用新型 |
| 2021-8-17 |
| 一种扫描电镜下样品样貌特征定位装置，主要包括样品托，样品托上开有第一样品凹槽、第二样品凹槽、第三样品凹槽，第一样品凹槽、第二样品凹槽、第三样品凹槽上分别开有第一镂空定位薄板凹槽、第二镂空定位薄板凹槽、第三镂空定位薄板凹槽，第一样品凹槽、第二样品凹槽、第三样品凹槽的底部均激光刻有轴向边界索引坐标、纵向边界索引坐标、索引线，第一、第二、第三镂空定位薄板凹槽内置有钛合金材料的镂空定位薄板，镂空定位薄板的骨架上激光刻有对应镂空区域编号。采用本实用新型的方法及设备，可实现扫描电镜下样品样貌特征的定位，具有操作简单、可同时对多个样品进行观察的优点。 |
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