| 在物镜内包括滑动样品台的带电粒子束如电子显微镜的装置 |
| US17178249 2021-2-18 发明授权 |
| 2021-8-17 |
| 本发明提供一种带电粒子束装置，例如电子显微镜，其包括样品台，该样品台能够围绕物镜的下极片在平面上滑动。 样品台被限制在具有一个弹性突起和一个或多个弹性力接收部分(例如三个永久突起)的样品台中，所述弹性力接收部分接触并按压所述台。 当对样品进行显微检查时，扰动振动不能产生足以克服样品台与物镜平面之间的极限摩擦的力。 本发明显示出许多技术优点，例如振动噪声最小或为零，以及改善的图像质量等。 |
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