| 基于多探针的无光源式近场热辐射扫描显微镜系统 |
| CN202110431133.4 2021-4-21 发明申请 |
| 2021-8-13 |
| 本发明提供了一种基于多探针的无光源式近场热辐射扫描显微镜系统，涉及近场扫描显微成像技术领域，该方法包括：加热样品台、原子力显微镜、探测器、计算机以及多根探针，原子力显微镜设置在加热样品台上，且原子力显微镜上靠近加热样品台一侧设置有探针，多根探针与加热样品台之间存在间隔，探测器设置在原子力显微镜上，且探测器与计算机之间信号连接。本发明能够有效解决现有近场扫描显微镜对外部激光光源的依赖，很大程度上降低系统的复杂度和成本。 |
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