| 一种自动感应扫描电镜ebsd探头 |
| CN202022991939.2 2020-12-15 实用新型 |
| 2021-8-13 |
| 本实用新型公开了一种自动感应扫描电镜ebsd探头，包括：底座，底座的一端上设置有支架；ebsd探头座，位于底座的上方，能够滑动地安装在支架上，ebsd探头座的末端设有探头；样品台，设置在底座的另一端上，与探头相对应，样品台设有固定待测样品的夹持工具；光束发射器，设置在样品台上方；电动机，安装在支架上，与ebsd探头座连接，以驱动ebsd探头座在支架上滑动；控制器，与测距传感器和电动机电连接。该结构通过测距传感器能够对扫描电镜ebsd探头的位置进行监测，当扫描电镜ebsd探头超过安全距离时能够控制扫描电镜ebsd探头停止向前或向后退，防止探头接触到样品导致探头损伤。 |
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