| 一种防撞扫描电镜ebsd探头组件 |
| CN202023002538.6 2020-12-15 实用新型 |
| 2021-8-13 |
| 本实用新型公开了一种防撞扫描电镜ebsd探头组件，包括底座，底座的上方设置有样品台，样品台上方设置有光束发射器，底座上设置有伸缩电镜ebsd探头座，伸缩电镜ebsd探头座的末端设置有探头，伸缩电镜ebsd探头座的下方设置有支架，支架的下方设置有滑块，滑块滑动连接在底座的滑道上，滑块上设置有弹簧开关，滑道上设置有调节块，弹簧开关电性连接控制器，控制器电性连接伸缩电镜ebsd探头座。该种结构可合理限定探头的位置，使探头能够在接触到样品台或者样品之前停止运动，避免了探头接触到样品而导致探头损伤。 |
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