| 扫描电子显微镜 |
| KR1020210015996 2021-2-4 发明申请 |
| 2021-8-12 |
| 本发明涉及一种扫描电子显微镜，用于对要求高真空的电子枪和镜筒进行真空屏蔽，同时对放置在低真空环境中的样品表面进行探查和成像。根据本发明的扫描电子显微镜是电子枪内部布置的是室；通过与干舱联通形成扫描电子束从电子枪移动的通道，在底部面形成电子束通过的镜筒大厅的镜筒；可拆卸地连接在镜筒大厅里，屏蔽模块，通过屏蔽镜筒使镜筒处于真空状态；包括：放置有样品的样品台，使通过屏蔽模块的电子束照射到样品，具备在屏蔽模块的下部，用于检测从样品后向散射的后向散射电子的后向散射检测器，样品台和后向散射检测器布置在内部，并耦合到镜筒的样品室。 |
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