| 电镜系统泵浦光束的稳定装置及方法、电镜系统 |
| CN202110412663.4 2021-4-16 发明申请 |
| 2021-8-10 |
| 本申请涉及电子显微镜技术领域，公开一种电镜系统泵浦光束的稳定装置及方法、电镜系统，目的是提供一种对入射至电镜内部的激光泵浦脉冲进行稳定的有效手段。电镜系统泵浦光束的稳定装置，包括：光斑探测组件，包括多通道光束探测器；光束稳定控制器，与光斑探测组件连接，用于每隔设定时间间隔，执行以下操作直至光斑位置漂移量小于或等于第一设定值：驱动光斑探测组件移动，使得多通道光束探测器到达电镜中物镜后焦面的电子束路径上；控制多通道光束探测器采集泵浦脉冲光斑信号，并根据当前采集的信号与初次采集的泵浦脉冲光斑信号计算得到光斑位置漂移量；当漂移量大于第一设定值时，根据漂移量对泵浦脉冲光束传播方向进行校正调节。 |
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