| 一种用于环境透射电子显微镜的负压气氛控制系统 |
| CN202110470303.X 2021-4-28 发明申请 |
| 2021-8-10 |
| 本发明涉及透射电子显微镜相关配套系统及原位纳米实验测试领域，具体是一种环境透射电子显微镜的负压气氛控制系统。气氛控制系统包括质量流量计、压力传感器，节流阀、背压阀，恒定流量排气泵，不同气氛经各自质量流量计进入主管路后通入主控腔，主控腔连通至透射电子显微镜气氛入口，压力传感器连接主控腔；主管路分为主管路支路一和主管路支路二，主管路支路一通入透射电子显微镜气氛入口，主管路支路二连通至大气；主控腔设有主控腔支路二连通至外界大气，恒定流量排气泵设于主控腔支路二上，节流阀设于主管路支路一上，背压阀设于主管路支路二上。本发明系统精确控制不同种类、混合比例、压力大小的气氛以所需的恒定压力进入透射电子显微镜。 |
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