具有与样品交互的探针的原子力显微镜
 
CN201910054032.2  2014-12-8  发明授权

2021-8-3
 
  一种原子力显微镜(AFM)及其方法,提供较小力的(sub?20pN)AFM控制,并提供力学性能测试。优选实施例采用实时的虚假偏转修正/辨别,通过适应性地修改驱动倾斜来符合偏转伪影。
 
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