| 一种高精度直线运动模组、及其包含该模组的光刻机 |
| CN202121648609.1 2021-7-20 实用新型 |
| 2021-12-17 |
| 本实用新型公开了一种高精度直线运动模组、及其包含该模组的光刻机，属于直线运动模组的技术领域。包括基座、运动组件和校正组件；其中，基座采用大理石材料制成；运动组件包括设置在所述基座上的两侧的两个直线导轨，套装在所述直线模组上的两个直线滑块，安装在所述直线滑块上的安装台，安装在所述安装台上的定位装置；校正组件包括安装在所述安装台下的光栅尺传感器，和设置在所述安装台两侧的激光干涉仪。本实用新型通过光栅尺传感器对直线运动模组的位移进行测量，然后反馈至系统，根据测量数据重新规划位移数据，进而提高直线运动模组的运动精度。 |
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