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产业专利数据

使用光学显微镜和多像素偏振滤光器进行颗粒分析

CN202110130740.7 2021-1-29 发明申请

2021-8-3

描述了与在对样本对象(111)的光学显微镜检查中使用多像素偏振滤光器(121)相关的技术。通过这种方法，例如，可以进行颗粒分析，例如，特别是用于确定所述样本对象(111)表面的技术清洁度。