| 双频激光干涉仪 |
| CN202121772641.0 2021-7-30 实用新型 |
| 2021-12-24 |
| 本实用新型提供一种双频激光干涉仪，包括发光器、镜组以及准直器。镜组包括偏振分光棱镜、第一棱镜、第二棱镜、第一波片、第二波片和回射器。第一棱镜贴附于偏振分光棱镜的第一侧面，第二棱镜和回射器贴附于偏振分光棱镜的第二侧面，以缩小了测量光和参考光的光程差，降低误差。此外，通过设置第二棱镜和回射器，不仅增加了光程和光学细分，实现降低非线性误差，还根据光路可逆原理，使参考光和测量光束偏移一定位置后，按原光路反方向返回，则因加工、装配引起的光角度偏差受到补偿，最终出射的参考光和测量光方向重合，且均与入射方向相反。因此，本实用新型不仅降低了非线性误差，还避免了因加工、装配引入的光角度误差。 |
微信公众号