| 扫描探针显微镜，使用该扫描探针显微镜的物理量测量方法及装置 |
| JP2020535425 2018-8-9 发明申请 |
| 2021-8-2 |
| (50)是扫描探针显微镜， 探针(20)和，(2)悬臂探针(20)指示，(43)被放置在扫描仪(S)上，样品(20)改变探针(4)和驱动部分之间的距离，(2)(3)具有用于测量悬臂位移的位移测量部分。 (50)是扫描探针显微镜， 探头(20)靠近样品(2)的样品探头(20)(20)(S)指示悬臂(S)的位移距离， 当探针样品(2)指示悬臂(S)在第一曲线(11)和表示曲线2的生成量之间的关系的曲线的一部分之间的距离的位移时， 曲线1表示样品量，其被确定为曲线2和具有物理性质量的第二部分(53)之间的面积。 |
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