| 利用倾斜尖端获取测量物体表面特征的方法，执行该方法的原子力显微镜和存储在存储介质上执行该方法的计算机程序 |
| KR1020200017159 2020-2-12 发明申请 |
| 2021-7-23 |
| 提供了一种底切(底切)结构，以容易地从底切结构的内部逸出并且容易地从底切结构的内部逸出。 本发明涉及一种使用倾斜尖端获得测量目标表面特性的方法，一种用于执行该方法的原子力显微镜，以及一种存储在存储介质中用于执行该方法的计算机程序。 根据本发明的一个实施例的用于解决上述问题的方法是一种通过使用包括与测量目标的表面相互作用的尖端(尖端)的测量装置来获得测量目标的表面的特性的方法。 6.根据权利要求1所述的方法，其中，使用上述控制方法执行相对于测量对象的表面在1个方向上相对于测量对象的表面移动尖端的步骤。 如权利要求2所述的方法， 其中在执行正常测量步骤时， 当由所述尖端获得的所述至少一个特征值被确定为异常超出一定范围时， 以基于预先限定的测量对象的表面的形状设置的控制方式控制尖端，使得尖端偏离异常状态。 在逃逸步骤之后，再次执行正常测量步骤。 。 |
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