| 使用倾斜尖端获得待测表面特性的方法，执行该方法的原子力显微镜和存储在存储介质中执行该方法的计算机程序 |
| WOKR20018707 2020-12-18 发明申请 |
| 2021-7-22 |
| 本发明涉及： 一种通过使用倾斜尖端来获得待测量表面的特性的方法，该方法能够深度地获得直到底切结构内部的图像，并且使得尖端能够容易地离开底切结构内部； 用于执行该方法的原子力显微镜； 以及存储在存储介质中以执行该方法的计算机程序。 根据本发明的一个实施例，用于完成该任务的方法是通过使用包括与待测量表面相互作用的尖端的测量装置来获得待测量表面的特性的方法。 所述方法包括：法向测量步骤，在使用第一控制方案使所述尖端相对于所述待测量表面在第一方向上相对移动的同时，获得所述待测量表面的特性； 退出步骤，在该退出步骤中，通过基于待测量表面的预定形状配置的第二控制方案来控制尖端以使其离开异常状态； 当在正常测量步骤期间由尖端获得的至少一个特征值偏离特定范围并且被确定为处于异常状态时； 以及在退出步骤之后再次执行正常测量步骤的步骤。 |
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