| 一种六自由度空间位移的测量结构 |
| CN202221603737.9 2022-6-24 实用新型 |
| 2022-10-14 |
| 本实用新型提供一种六自由度空间位移的测量结构，所述测量结构包括：运动台固定基座和运动台，运动台活动固定于运动台固定基座上并可在其上面进行六自由度运动；激光干涉仪模组，包括第一方向干涉仪、第二方向干涉仪和第三方向干涉仪，固定设置于运动台上，第一方向干涉仪包括至少3个干涉仪，第二方向干涉仪至少包括2个干涉仪，第三方向干涉仪至少包括1个干涉仪，第一方向、第二方向和第三方向互相正交；反射面，相对运动台固定基座固定设置，包括第一方向反射面、第二方向反射面和第三方向反射面，反射面与对应的干涉仪的出射光正交。本实用新型光路调节简单、量程长且可有效对Z方向进行测量的同时，各组数据可互相验证，提高测量精确度。 |
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