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多通电子显微镜中的像差减小

US17053285 2019-5-28 发明申请

2021-7-15

通过在谐振器的反射平面上具有样品的傅立叶图像(而不是实像)，提供了多通电子显微镜中改进的像差校正。可以通过适当的样品放置或通过向谐振器添加补偿元件来补偿样品再成像的所得的±1倍率。这使得能够同时校正来自电子物镜的最低阶色差和球面像差。如果样品的实像在谐振器的反射平面上，则只能校正最低阶色差。